1 ．仪器简介

仪器品牌  日本 电子株式会JEOL

仪器型号  JSM-7800F

场发射扫描电镜主要由电子光学系统、计算机控制系统、扫描显示系统、真空系统以及EDS、EBSD等附件组成。该仪器主要用于材料表面的微观形貌的高分辨观察以及样品成分的定量检测。配置X射线能谱仪附件（英国牛津 X-MAX 80）。

2. 仪器基本功能

场发射扫描电镜用于材料表面微观形貌的高分辨观察以及微区成分的定性分析，适用于化学、化工、生物、材料、光电、药学等方向的材料表面形貌和结构分析、微区成分的研究等。

3. 主要技术参数

分辨率：0.8nm @ 15KV, 1.2nm @ 1KV, 3.0nm @ 0.1KV,

放大倍数：X25～X500000

探针束流：1pA～200nA

探测器：LED, UED, USD, SRBED

图像类型：二次电子图像，背散射电子图像

加速电压：0.01～30KV连续可调

真空度：电子枪室 10-7 Pa；样品室10-5 Pa

4. 送样要求

① 固体粉末或者块状样品，块状固体直径小于32mm，高度小于20mm。

② 测试样品应具有良好的导电性且无磁性; 导电性差的样品测试前需进行喷金/碳等处理，增加样品的导电性。

③ 粉末样品测试前需要分散在导电基底上，不允许直接撒在电导胶上（容易污染样品室及电子光学系统）

④ 样品表面清洁干燥，不能有污染，热稳定好。