1．仪器简介
仪器品牌 德国 莱卡
仪器型号 J EM ACE 600
高真空镀膜仪配置有涡轮分子泵，具备全自动抽高真空和全自动操作的离子溅射镀膜系统。该仪器是一款集成了离子溅射和热蒸镀两种真空镀膜方式的系统，采用触摸屏控制，简单方便；镀膜细腻均匀，内置石英膜厚检测器，可精确控制镀膜厚度。仪器可选离子溅射镀金属膜，满足高分辨场发射扫描电镜（FESEM）需求；还可选碳丝蒸发镀碳膜，用于X-射线能谱及波谱分析或者TEM铜网镀碳膜。
2. 仪器基本功能
① 主要用于FESEM测试样品的前处理。
② 2．主要用于不导电或导电性差的各种材料的FESEM样品的喷金、喷碳，改善样品的导电性，提高样品FESEM测试的质量。
③ 透射电镜(TEM)及其它非电镜(如材料领域)镀膜的专用仪器。
3. 主要技术参数
① 微处理器数字控制方式，可预设参数，带有膜厚监控器，可根据膜厚自动终止镀膜，控制精度0.1 nm。
② 带有氩气灌洗功能，可去除管路中残留气体，保证样品室内无污染。
③ 样品台：可变角旋转台，镀膜靶源采用倾角式设计，配置旋转样品台，可使镀膜最均匀。
④ 真空系统：无油真空系统，内置隔膜泵+分子泵，真空度最高可达10-6mbar。
⑤ 溅射电流：0-150 mA，可调；溅射时间：1-1800秒，可调。
⑥ 溅射靶材：可同时装配两个镀膜靶源（配金，铂金属靶，高纯度碳棒或碳纤维）。
4. 送样要求
① 固体薄膜、块状、粉末样品。
② 样品表面清洁干燥，不能有污染。
③ 粉末样品镀膜前需要分散在基底上，不允许直接撒在样品台上。
